核心物理與清洗優(yōu)勢(shì)
1、頻率高、波長(zhǎng)短（通常800kHz–3MHz），空化氣泡極小、極多、極均勻，能量溫和不沖擊。
2、無(wú)損清洗：幾乎無(wú)強(qiáng)空化沖擊，零劃傷、零損傷，保護(hù)超薄晶圓、低 k介質(zhì)、微凸點(diǎn)、TSV等脆弱結(jié)構(gòu) 。
3、納米級(jí)清潔能力：可穩(wěn)定去除0.1μm（100nm）以下亞微米/納米顆粒，傳統(tǒng)超聲做不到。
4、聲流主導(dǎo)、剪切力強(qiáng)：在表面形成極薄聲學(xué)邊界層，強(qiáng)力剝離微顆粒，深孔/高深寬比結(jié)構(gòu)也能洗干凈。
5、均勻性佳：聲場(chǎng)分布均勻，無(wú)熱點(diǎn)、無(wú)死角，整槽/整片晶圓清洗一致性好，良率高。
6、效率高：清洗時(shí)間大幅縮短（如10s達(dá)99.99%效率），產(chǎn)能提升。
功能特點(diǎn)
1、新款它激式線路，頻率自動(dòng)跟蹤，工作穩(wěn)定可靠，較以前的自激式震蕩線路結(jié)構(gòu)在輸出功率增加15%以上。
2、采用進(jìn)口日本本多陶瓷片組裝換能器，電聲轉(zhuǎn)換率高達(dá)98%以上。
3、采用IGBT大功率模塊控制，輸出功率強(qiáng)大，使超聲波使用壽命大幅提高，并有效保護(hù)換能器正常工作。超聲波發(fā)生器有頻率微調(diào)的功能，調(diào)整范圍1%，換能效率達(dá)到最大，在不同工況下都能達(dá)到最佳效果。
4、采用高品質(zhì)鈑金技術(shù)及新式粘合技術(shù)和電路結(jié)構(gòu)的優(yōu)化，使設(shè)備的噪音比常規(guī)超聲音量低26個(gè)分貝左右。
5、水槽采用316L優(yōu)質(zhì)不銹鋼，厚度1.5mm,無(wú)縫焊接。水槽主體材質(zhì)采用316型不銹鋼板，厚度1.5mm,水槽無(wú)縫焊接，采用滿焊工藝表面光滑潔凈，沒有衛(wèi)生死角，連接管道也需采用316衛(wèi)生級(jí)不銹鋼管及配件，連接采用活接方式。
6、采用7寸高清液品顯示屏觸控操作，PLC控制有50組以上的清洗程序設(shè)定，屏幕實(shí)時(shí)顯示時(shí)間、溫度、功率、運(yùn)行狀態(tài)倒計(jì)時(shí)顯示。
7、儀器具有超電流、超電壓、超溫報(bào)警功能，自動(dòng)進(jìn)水自動(dòng)排水。
8、具備生產(chǎn)制造資質(zhì)及認(rèn)監(jiān)委認(rèn)證質(zhì)量體系認(rèn)證。產(chǎn)品獲得CE及ROSH認(rèn)證以及產(chǎn)品相關(guān)的生產(chǎn)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)，原件備查。
1、超聲頻率：2.4MHz，自適應(yīng)（也可根據(jù)需求選定其它頻率）
2、超聲標(biāo)稱功率：500W，功率可調(diào)，步進(jìn)10%，也可細(xì)化至步進(jìn)1%
3、時(shí)間可調(diào)：0-999min
4、加熱功率：500W，溫度可調(diào)：室溫-80 ℃
5、清洗內(nèi)槽尺寸：400×250×150（mm），容量：15升，外型尺寸：540*500*400(mm)水槽采用316L優(yōu)質(zhì)不銹鋼，厚度1.5mm,無(wú)縫焊接。水槽主體材質(zhì)采用316型不銹鋼板，厚度1.5mm,水槽無(wú)縫焊接，采用滿焊工藝表面光滑潔凈，沒有衛(wèi)生死角，連接管道也需采用316衛(wèi)生級(jí)不銹鋼管及配件，連接采用活接方式。
6、采用7 寸高清液晶顯示屏觸控操作，PLC控制有50組以上的清洗程序設(shè)定，屏幕實(shí)時(shí)顯示時(shí)間、溫度、功率、運(yùn)行狀態(tài)倒計(jì)時(shí)顯示；
7、儀器具有超電流、超電壓、超溫報(bào)警功能，自動(dòng)進(jìn)水自動(dòng)排水。
